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輝龍過(guò)濾集團(tuán)

杭州輝龍過(guò)濾技術(shù)有限公司

菲貝濾芯

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SPPL聚丙烯膜CMP漿液過(guò)濾濾芯

SPPL 系列 CMP 漿液過(guò)濾聚丙烯折疊濾芯在微電子器件的化學(xué)機(jī)械拋光中,始終為需要拋光的工件提供均勻的拋光漿料,以優(yōu)化晶片的整體平面化,提高晶片質(zhì)量。獨(dú)特的熔噴材料形成等級(jí)分布顆粒物的效果,尤其適合氧化鋁和氧化硅拋光漿料的過(guò)濾。

該濾芯材料在空間形成三維微孔結(jié)構(gòu),微孔孔徑沿濾液方向呈梯度分布,可以截留不同粒徑,孔徑范圍完全匹配 CMP氧化物拋光漿料和金屬物拋光漿料的粒徑,不僅提高了過(guò)濾效率,而且解決了濾芯易阻塞的問(wèn)題,延長(zhǎng)了濾芯的使用壽命。

特征

沿濾液方向的梯度孔徑分布,保證拋光漿料的品質(zhì),并延長(zhǎng)漿料的使用壽命。

所有濾芯兼容性極佳,無(wú)論是酸性還是堿性漿料,均可過(guò)濾。

漏斗狀的過(guò)濾結(jié)構(gòu),對(duì)可能造成晶片表面?zhèn)Φ膱F(tuán)狀顆粒敏感。

CMP流程提供嚴(yán)格的質(zhì)量保證。

去除漿料中的大粒徑離子及成團(tuán)的異質(zhì)顆粒,提高晶片的成品率。

過(guò)濾面積大,高過(guò)濾效率。

熱熔法密封結(jié)構(gòu),密封性良好。

輝龍過(guò)濾的全面質(zhì)量管理體系保證濾芯品質(zhì)。

濾芯沿濾液方向的梯度孔徑分布結(jié)構(gòu),適合各種不同的拋光漿料,應(yīng)用范圍廣。

通用性好,適合各種標(biāo)準(zhǔn)或者類似的壓力容器過(guò)濾器。


過(guò)濾介質(zhì):熔噴聚丙烯超細(xì)纖維膜

上下游支撐層:聚丙烯

內(nèi)外骨架:聚丙烯

端蓋、接口、尾翅:聚丙烯

0形環(huán):三元乙丙橡膠,氟橡膠,可熔性聚四氟乙烯/氟橡膠。

在流體中操作條件建議:

聚丙烯骨架濾芯推薦

最高耐受溫度:176°F(80°℃)

最高工作溫度:140°F(60)

最高耐受壓差:58psi (4bar) @68°F (20°℃)

29psi (2.0bar) @150°F (60°℃)

推薦更換壓差:29 psid (2.0 bar)

長(zhǎng)度因子

長(zhǎng) (inch)

長(zhǎng)度因子

10

1.0

20

2.0

30

3.0

40

4.0

50

5.0

 

BPPL 流量(psid/gpm @ 1 cst)

孔徑 (μm)

流量因子

0.1

2.200

0.2

1.600

0.45

0.900

1

0.770

3

0.300

5

0.120

10

0.020

20

0.020

50

0.010

75

0.008

100

0.006

 

 

 


直徑:2.7 英寸(69mm)

長(zhǎng)度:4-30 英寸(102-765mm)

有效過(guò)濾面積(10“濾芯):

最小 6.5 ft2(0.6m2)

 


氧化物拋光漿料:

電子產(chǎn)品

食品&飲料

金屬漿料

化學(xué)品

醫(yī)藥

感光材料

水處理

餐飲污水


PP聚丙烯微孔折疊濾芯系列
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